《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
《微细加工技术》目前已停刊，具体复刊时间以杂志社官方消息为准。
微细加工技术杂志栏目设置综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术
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